Pfeiffer Vacuum представила инновационные вакуумные решения

04/02/2016

Turbopump HiPace 2800 IT от Pfeiffer VacuumИнновационные разработки были представлены на выставках Semicon Korea и Semicon China. В условиях постоянно изменяющегося рынка Pfeiffer Vacuum на протяжении длительного времени продолжает предоставлять своим клиентам надёжные решения для применения в самых разных сферах.

В числе нововведений — дополнение серии А4 линейкой безмасляных многоступенчатых вакуумных насосов Рутса, обеспечивающих скорость потока от 100 до 2300 м3/ч. Обладая высокими показателями энергоэффективности и надёжности, они являются превосходным решением для выполнения технически сложных процессов, а их высокая стойкость к коррозии делает новые насосы серии подходящими, к примеру, для использования в процессах химического осаждения из газовой фазы.

Помимо новых насосов, Pfeiffer Vacuum также представила турбонасос HiPace 2 800 IT, предназначенный специально для совершения ионной имплантации. Сложная конструкция ротора турбонасоса помогает добиться оптимальной скорости откачки лёгких газов, что гарантирует достижение необходимого результата даже при высоких показателях испарения водорода в результате реакции. Способный создавать поток скоростью до 2750 л/с, HiPace 2800 IT является лучшим в своём классе.

Интеллектуальная система управления температурой внутри устройства предотвращает процессы конденсации и аккумуляции осадка внутри насоса. С её помощью можно настроить температуру внутри системы для каждого отдельно взятого процесса в зависимости от обрабатываемых веществ и поставленных целей. Специальное покрытие ротора обеспечивает стойкость к воздействию любых материалов, участвующих в процессе ионной имплантации. Прочная подшипниковая конструкция новинки состоит из керамических шарикоподшипников на форвакуумной стороне и радиальных магнитостатических подшипников со стороны нагнетания. В сочетании с надёжным покрытием, она формирует надёжную основу для безотказной работы насоса в течение длительного времени.

Также компания представила инновационные турбонасосы на магнитной подвеске ATH 2804 M and ATH 3204 M. Насосы линейки ATH-M способны обеспечивать показатели газопроизводительности азота свыше 5000 см3/мин при работе с бесподогревными веществами. Работая в агрессивной среде, они способны перекачивать аргон на скорости до 1500 см3/мин при температуре 65°C. Насосы можно эффективно использовать для выполнения процессов, на качество которых существенно влияет количество осадка, при работе с агрессивными веществами при температуре до +85°C.

Конструкция оборудования включает в себя встроенный интерфейс накопителей, что помогло добиться компактности опорной поверхности и простоты установки, сразу после которой насос можно использовать. Система управления турбонасосами позволяет произвести их запуск и остановку в течение 8 минут. Конструкция подшипников на магнитной подвеске и система автоматического устранения несбалансированности предотвращают быстрый износ и высокий уровень шума при работе насосов ATH-M. Они не требуют эксплуатационного ухода и использования смазки.

 

Фото: Turbopump HiPace 2800 IT от Pfeiffer Vacuum (источник: Pfeiffer Vacuum GmbH)