Компания Pfeiffer Vacuum представила новую серию сухих вакуумных насосов

30/01/2014

Новые сухие вакуумные насосы серии А412-14 февраля 2014 года компания Pfeiffer Vacuum планирует презентовать новые сухие вакуумные насосы серии А4 на выставке Semicon  (Сеул, Корея).

 

Новая серия сухих насосов А4

Серия А4 сухих многоступенчатых вакуумных насосов Рутса включает модели  производительностью от 100 до 1700 кубометров в час. Это энергоэффективное и надёжное оборудование является оптимальным решением для сложных технологических процессов напыления покрытий и изготовления полупроводниковых устройств. Поскольку такие насосы отличаются высокой коррозионной устойчивостью и хорошей пропускной способностью для газов, их можно использовать в процессах химического осаждения из газовой фазы.

 

Новый сухой вакуумный насос A 200 L

Несмотря на компактные размеры, новый сухой вакуумный многоступенчатый насос A 200 L отличается высокой скоростью откачки. Его можно использовать в чистых помещениях, в том числе для выполнения таких работ, как загрузка-блокировка рабочих камер чистого оборудования. Модель легко интегрируется в производственные линии и отличается крайне низким энергопотреблением.

 

Новые турбонасосы с магнитной подвеской ATH 2804 М и ATH 3204 М

Особенностью магнитной подвески турбонасосов серии ATH-M является контроль положения ротора при помощи специальных магнитных подшипников. Такая технология отличается высокой стабильностью,  долговечностью, надёжностью и низким уровнем шума. Эти мощные вакуумные насосы имеют исключительную скорость откачки и идеальны для использования в полупроводниковых производствах, особенно в процессах травления, а также в других промышленных сферах.

 

Новая продукция компании Pfeiffer Vacuum также будет представлена на выставке Semicon, которая состоится в Шанхае (Китай) 18-20 марта 2014 года.

 

Фото: Новые сухие вакуумные насосы серии А4 (источник: Pfeiffer Vacuum)